Магнетронды тозаңдандыру әдісімен берілген қалыңдықтағы TiO2 негізіндегі стехиометрге жақын элементтік және фазалық құрамды наноқұрылымдық пленкалар алынған. Қабыршақтардың құрылымында оттегінің концентрациясының төмендеуі қабықтың беріктігі мен қаттылығын жоғарылатуына әкеп соқтырады. Өз кезегінде, қаптамалардың қалыңдығының ұлғаюы дәннің өсуінің таңдалған текстуралық бағытын қалыптастыруға әкеледі, нәтижесінде қабыршақтардың кедір-бұдырлығы мен толқындылығы байқалады. Қаттылық пен беріктігіндегі өзгерістердің алынған тәуелділіктерін талдау жабындылардың қалыңдығының артуы фазалық құрамның өзгеруіне және кристалдық құрылымның өзгеруіне байланысты қаттылық пен беріктіктің артуына алып келетіндігін көрсетті.
Түйін сөздер: жұқа қабыршақтар, магнетронды тозаңдандыру, кристаллдық құрылымның ақаулары, қорғаныш жабындар.
